芯片是信息行業(yè)最核心和最重要的組成部分，是中國智造的靈魂。在半導(dǎo)體芯片制造技術(shù)中，通過一系列的光刻、刻蝕、沉積、離子注入、研磨、清洗等工藝形成具有各種功能的半導(dǎo)體芯片，會產(chǎn)生大量的廢水。廢水的污染物種類包括氟化物、酸堿廢液、有機廢液、重金屬離子污染物等，腐蝕性和毒性都很強。
經(jīng)過對生產(chǎn)工藝的深度分析，我司將廢水分為含氟廢水、含氨廢水、CMP研磨廢水、重金屬廢水等多路廢水，針對各路廢水水質(zhì)不同，單獨設(shè)計處理工藝。通過有效的預(yù)處理措施，實現(xiàn)各類廢水的達標處理和中水回用等資源化利用。
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